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      2. 六氟化鎢
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        • 六氟化鎢

        六氟化鎢

        化學(xué)式:WF6

        純度規(guī)格:6N

        用途:沉積

        主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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        產(chǎn)品種類:

        產(chǎn)品標(biāo)簽:


        產(chǎn)品詳情

        高純六氟化鎢主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路化學(xué)氣相沉積工藝,其沉積形成的鎢導(dǎo)體膜可用作通孔和接觸孔的互連線,具有低電阻、高熔點(diǎn)的特點(diǎn),純度一般需要達(dá)到5N,公司已實(shí)現(xiàn)6N級(jí)六氟化鎢的量產(chǎn),憑借優(yōu)異的產(chǎn)品品質(zhì),多年來(lái)穩(wěn)定供應(yīng)境內(nèi)外集成電路和顯示面板知名客戶,客戶覆蓋廣泛。

        以品質(zhì)為基石,開拓全球市場(chǎng)

        目前,派瑞特氣公司擁有單條年產(chǎn)能超過(guò)3000噸的高純?nèi)獨(dú)怏w生產(chǎn)線,擁有高純六氟化鎢規(guī)?;a(chǎn)線,擁有三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地,建設(shè)了高純鎢制品中試生產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)了企業(yè)大宗制氣的技術(shù)突破,已成為國(guó)內(nèi)特氣行業(yè)產(chǎn)品系列豐富、生產(chǎn)能力大、市場(chǎng)覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強(qiáng)的企業(yè)。

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        推薦產(chǎn)品

        公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要產(chǎn)品包括高純?nèi)?、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體,以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙(三氟甲磺酰)亞胺鋰等含氟新材料。


        氯化氫

        化學(xué)式:HCl

        純度規(guī)格:5N

        用途:清洗、刻蝕

        主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


        氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等

        純度規(guī)格:6N

        用途:刻蝕、退火、光刻等

        主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、顯示面板、光纖


        三氟化氮

        化學(xué)式:NF3

        純度規(guī)格:5N

        主要用途:清洗、刻蝕

        主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、 顯示面板


        氟化氫

        化學(xué)式:HF

        純度規(guī)格:5N

        用途:清洗、刻蝕

        主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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