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      2. 氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等
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        氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等

        純度規(guī)格:6N

        用途:刻蝕、退火、光刻等

        主要應用領域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、顯示面板、光纖

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        產品詳情

        混合氣主要應用于大規(guī)模集成電路和顯示面板制造過程中的光刻、退火等多個工藝,基于自身掌握的純化和混配技術,混合氣產品組分純度可達6N,結合客戶的個性化需求,目前已實現30余種電子混合氣的量產供應。

        包括:氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等。

        以品質為基石,開拓全球市場

        目前,派瑞特氣公司擁有單條年產能超過3000噸的高純三氟化氮氣體生產線,擁有高純六氟化鎢規(guī)模化生產線,擁有三氟甲磺酸系列產品研發(fā)生產基地,建設了高純鎢制品中試生產線,實現了企業(yè)大宗制氣的技術突破,已成為國內特氣行業(yè)產品系列豐富、生產能力大、市場覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強的企業(yè)。

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        推薦產品

        公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產品的研發(fā)、生產和銷售,主要產品包括高純三氟化氮、高純六氟化鎢、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體,以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙(三氟甲磺酰)亞胺鋰等含氟新材料。


        三氟化氮

        化學式:NF3

        純度規(guī)格:5N

        主要用途:清洗、刻蝕

        主要應用領域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、 顯示面板


        氯化氫

        化學式:HCl

        純度規(guī)格:5N

        用途:清洗、刻蝕

        主要應用領域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


        氦氮混氣、氙氫混氣、氧氦混氣、氪氖混氣、氬氙氖混氣等

        純度規(guī)格:6N

        用途:刻蝕、退火、光刻等

        主要應用領域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、顯示面板、光纖


        氟化氫

        化學式:HF

        純度規(guī)格:5N

        用途:清洗、刻蝕

        主要應用領域:集成電路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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